La celo havas larĝan merkaton, aplikan areon kaj grandan disvolviĝon en la estonteco.Por helpi vin pli bone kompreni la celajn funkciojn, ĉi tie malsupre la RSM-inĝeniero mallonge enkondukos la ĉefajn funkciajn postulojn de la celo.
Pureco: pureco estas unu el la ĉefaj funkciaj indikiloj de la celo, ĉar la pureco de la celo havas grandan efikon al la funkcio de la filmo.Tamen, en praktika apliko, la purecaj postuloj de la celo ankaŭ estas malsamaj.Ekzemple, kun la rapida disvolviĝo de mikroelektronika industrio, la grandeco de silicioblato estas pligrandigita de 6 "al 8" al 12 ", kaj la larĝo de drataro estas reduktita de 0.5um al 0.25um, 0.18um aŭ eĉ 0.13um.Antaŭe, 99,995% de la cela pureco povas plenumi la procezpostulojn de 0,35umic, dum la preparado de 0,18um linioj postulas 99,999% aŭ eĉ 99,9999% de la cela pureco.
Malpuraĵenhavo: malpuraĵoj en celsolidoj kaj oksigeno kaj akvovaporo en poroj estas la ĉefaj poluofontoj de deponitaj filmoj.Celoj por malsamaj celoj havas malsamajn postulojn por malsamaj malpuraĵenhavoj.Ekzemple, celoj de pura aluminio kaj aluminialojo uzataj en duonkondukta industrio havas specialajn postulojn por enhavo de alkala metalo kaj enhavo de radioaktiva elemento.
Denso: por redukti la porojn en la cela solido kaj plibonigi la funkcion de ŝprucado de filmo, la celo kutime devas havi altan densecon.La denseco de la celo ne nur influas la sputtering-rapidecon, sed ankaŭ influas la elektrajn kaj optikajn funkciojn de la filmo.Ju pli alta la cela denseco, des pli bona la funkcio de la filmo.Krome, la denseco kaj forto de la celo estas plibonigitaj tiel ke la celo povas pli bone akcepti la termikan streson en la ŝprucprocezo.Denso ankaŭ estas unu el la ŝlosilaj funkciaj indikiloj de la celo.
Afiŝtempo: majo-20-2022