La celmaterialo uzita en la datumstokado-industrio postulas altan purecon, kaj malpuraĵoj kaj poroj devas esti minimumigitaj por eviti la generacion de malpurecaj partikloj dum ŝprucado.La celmaterialo uzata por altkvalitaj produktoj postulas, ke ĝia kristala partikla grandeco estu malgranda kaj unuforma, kaj ne havu kristalan orientiĝon.Malsupre, ni rigardu la postulojn de la optika stokado industrio por la cela materialo?
1. Pureco
En praktikaj aplikoj, la pureco de celmaterialoj varias laŭ malsamaj industrioj kaj postuloj.Tamen, entute, ju pli alta la pureco de la cela materialo, des pli bona la rendimento de la ŝprucita filmo.Ekzemple, en la optika stokado industrio, la pureco de la celmaterialo devas esti pli granda ol 3N5 aŭ 4N.
2. Malpura enhavo
La celmaterialo funkcias kiel la katodfonto en ŝprucado, kaj malpuraĵoj en la solido kaj oksigeno kaj akvovaporo en la poroj estas la ĉefaj poluofontoj por deponado de maldikaj filmoj.Krome, ekzistas specialaj postuloj por celoj de malsamaj uzoj.Prenante la optikan stokan industrion kiel ekzemplon, la malpura enhavo en sputteraj celoj devas esti kontrolita tre malalte por certigi la kvaliton de la tegaĵo.
3. Grajna grandeco kaj grandeco distribuo
Kutime, la celmaterialo havas polikristalan strukturon, kun grajngrandecoj intervalantaj de mikrometroj ĝis milimetroj.Por celoj kun la sama kunmetaĵo, la ŝprucado-rapideco de fajngrajnceloj estas pli rapida ol tiu de krudaj grenceloj.Por celoj kun pli malgrandaj grajngrandecdiferencoj, la deponita filmdikeco ankaŭ estos pli unuforma.
4. Kompakteco
Por redukti porecon en la solida celmaterialo kaj plibonigi filmo-efikecon, estas ĝenerale postulate, ke la ŝprucanta celmaterialo havas altan densecon.La denseco de la cela materialo plejparte dependas de la prepara procezo.La celmaterialo fabrikita per fandado kaj fandado-metodo povas certigi, ke ne ekzistas poroj ene de la celmaterialo kaj la denseco estas tre alta.
Afiŝtempo: Jul-18-2023