Nuntempe preskaŭ ĉiuj altnivelaj ultra-altaj purecaj metalaj kuproceloj postulataj de la IC-industrio estas monopoligitaj de pluraj grandaj eksterlandaj multnaciaj kompanioj.Ĉiuj ultrapuraj kupraj celoj bezonataj de la hejma IC-industrio devas esti importitaj, kio estas ne nur multekosta, sed ankaŭ komplika en importaj proceduroj Tial, Ĉinio urĝe bezonas plibonigi la disvolviĝon kaj kontrolon de ultra-alta pureco (6N) kupro sputtering celoj. .Ni rigardu la ŝlosilajn punktojn kaj malfacilaĵojn en la disvolviĝo de ultra-altaj purecaj (6N) kupraj ŝprucado-celoj.
1、Disvolviĝo de altpuraj materialoj
La puriga teknologio de altpuraj Cu, Al kaj Ta-metaloj en Ĉinio estas malproksima de tiu en industriaj evoluintaj landoj.Nuntempe, la plej multaj el la altpuraj metaloj, kiuj povas esti provizitaj, ne povas plenumi la kvalitajn postulojn de integraj cirkvitoj por ŝprucado de celoj laŭ la konvenciaj ĉiuj elementanalizaj metodoj en la industrio.La nombro da inkludoj en la celo estas tro alta aŭ malegale distribuita.Partikloj ofte formiĝas sur la oblato dum ŝprucado, rezultigante fuŝkontakton aŭ malferman cirkviton de interkonekto, kiu grave influas la agadon de la filmo.
2、Disvolviĝo de kupra ŝprucado cela preparteknologio
La evoluo de kupra sputtering celo preparteknologio ĉefe temigas tri aspektojn: grajngrandeco, orientiĝokontrolo kaj unuformeco.La industrio de duonkonduktaĵoj havas la plej altajn postulojn por ŝprucigi celojn kaj vaporigi krudaĵojn.Ĝi havas tre striktajn postulojn por la kontrolo de la surfaca grajngrandeco kaj kristala orientiĝo de la celo.La grajngrandeco de la celo devas esti kontrolita ĉe 100μ M sube, do, la kontrolo de grajngrandeco kaj la rimedoj de korelacia analizo kaj detekto estas tre gravaj por la disvolviĝo de metalaj celoj.
3、Disvolviĝo de analizo kajtestado teknologio
La alta pureco de la celo signifas la redukton de malpuraĵoj.En la pasinteco, indukte kunligita plasmo (ICP) kaj atomsorba spektrometrio estis uzataj por determini malpuraĵojn, sed en la lastaj jaroj, brila senŝargiĝa kvalita analizo (GDMS) kun pli alta sentemo estis iom post iom uzata kiel la normo. metodo.La resta rezistproporcio RRR-metodo estas plejparte uzita por la determino de elektra pureco.Ĝia determina principo estas taksi la purecon de baza metalo per mezurado de la grado de elektronika disvastigo de malpuraĵoj.Ĉar ĝi estas mezuri la reziston ĉe ĉambra temperaturo kaj tre malalta temperaturo, estas simple preni la nombron.En la lastaj jaroj, por esplori la esencon de metaloj, la esplorado pri ultra-alta pureco estas tre aktiva.En ĉi tiu kazo, RRR-valoro estas la plej bona maniero taksi la purecon.
Afiŝtempo: majo-06-2022