En la lastaj jaroj, kun la progreso de integra cirkvito (IC) teknologio, la rilataj aplikoj de integraj cirkvitoj rapide disvolviĝis.Ultra alta pureca aluminio-alojo sputtering celo, kiel subtena materialo en la fabrikado de integra cirkvito metalo interkonekti, fariĝis varma temo en lastatempa hejma esplorado.la redaktisto de RSM montros al ni la karakterizaĵojn de alta pureca aluminialojo sputtering celo.
Por plue plibonigi la sputeran efikecon de magnetrona sputtercelo kaj certigi la kvaliton de deponitaj filmoj, granda nombro da eksperimentoj montras, ke ekzistas certaj postuloj por la komponado, mikrostrukturo kaj grena orientiĝo de ultra-alta pureca aluminialojo sputtering celo.
La grengrandeco kaj grenorientiĝo de la celo havas grandan influon sur la preparado kaj propraĵoj de IC-filmoj.La rezultoj montras, ke la depona indico malpliiĝas kun la pliiĝo de grajngrandeco;Por la ŝpruccelo kun la sama kunmetaĵo, la ŝprucrapideco de la celo kun malgranda grajngrandeco estas pli rapida ol tiu de la celo kun granda grajngrandeco;Ju pli unuforma la grajnograndeco de la celo, des pli uniforma la dika distribuo de la deponitaj filmoj.
Sub la sama sputtering-instrumento kaj procezaj parametroj, la sputtering-rapideco de Al Cu aloja celo pliiĝas kun la pliiĝo de atomdenseco, sed ĝi estas ĝenerale stabila en gamo.La efiko de grajngrandeco sur sputteringrapideco ŝuldiĝas al la ŝanĝo de atomdenseco kun la ŝanĝo de grajngrandeco;La depona indico estas ĉefe trafita de la grena orientiĝo de Al Cu aloja celo.Surbaze de certigo de la proporcio de (200) kristalaj ebenoj, la pliiĝo de la proporcio de (111), (220) kaj (311) kristalaj ebenoj pliigos la deponan indicon.
La grengrandeco kaj grenorientiĝo de ultra-altaj purecaj aluminialojaj celoj estas ĉefe ĝustigitaj kaj kontrolitaj per ingota homogeniĝo, varma laborado kaj rekristaliĝo-rekuado.Kun la disvolviĝo de oblatgrandeco al 20.32cm (8in) kaj 30.48cm (12in), la celgrandeco ankaŭ pliiĝas, kio prezentas pli altajn postulojn por ultra-altaj purecaj aluminialojaj ŝprucantaj celoj.Por certigi la filmkvaliton kaj rendimenton, la celpretigaj parametroj devas esti strikte kontrolitaj por uniformigi la celan mikrostrukturon kaj la grenorientiĝo devas havi fortajn (200) kaj (220) ebenajn teksturojn.
Afiŝtempo: Jun-30-2022