Sputtering titania alojo celo kaj titania metalo estas kunmetitaj de titanio, do la informoj estas proksimume la sama, sed la diferenco inter la du ĉefe kuŝas en la sputtering titania alojo celo estas farita el titanio metalo tra pluraj manieroj, kaj titanio okazas en la naturo kiel titania erco.Celoj de titanio alojo povas esti vaste uzataj en multaj profesiaj kategorioj,Nun la aŭtoro de Pekino richmat resumis plurajn oftajn celojn de titania alojo laŭ la uzo de la situacio por doni al ni detalan enkondukon.
,
一、Ti-celoj por integraj cirkvitoj
La postuloj por ŝprucado de titanialojaj celoj estas malsamaj inter ne-integraj cirkvitoj kaj integraj cirkvitoj.Ĝenerale, integraj cirkvitoj havas pli altajn postulojn por kovraj datumoj, kiel pli alta pureco, pli malgranda grajna grandeco kaj pli preciza skala precizeco.La pureco de titanaj celoj en integraj cirkvitoj estas pli granda ol 99,995%, kiu estas pli alta ol tiu uzata en ne-integraj. cirkvitoj, indikante ke malsamaj uzoj de titanaj celpostuloj estas tre malsamaj.
二、Ti celo por platpanela ekrano
Titanaj alojaj celoj uzataj en platpanelaj ekranoj inkluzivas likvan kristalan ekranon, plasman ekranon, elektrolumineskan ekranon kaj kampan emisian ekranon. La maldika filmo de plata ekrano estas ŝprucita formanta metodo, Al, Cu, Ti kaj Mo estas la ĉefaj metalaj ŝprucantaj celoj por plata panelo. ekranoj.Pureco de titanaj alojaj celoj por plataj ekranoj estas kutime pli granda ol 99,9%.
三、Ti celoj por ornamaj materialoj
Alta pureca titania aloja celo-materialo havas bonegan aero-korodan reziston, longtempa uzo en la aero ne ŝanĝas koloron, por certigi, ke la originala koloro de titanio kaj homa kontakto ne estas alergia kaj aliaj bonegaj trajtoj.Sekve, alta pureca titanio ankaŭ povas esti uzata kiel ornamaj materialoj, en la lastaj jaroj, kiel braceletoj, horloĝoj kaj okulvitroj kaj aliaj ornamaĵoj kun titania pureco atingis 5N-nivelon.
四、Ti-celoj por ultra-altaj vakuaj pumpaj sistemoj
Kiel kemie aktiva metalo, titanio povas reagi kun multaj elementoj kaj kunmetaĵoj ĉe alta temperaturo.La celo de titania alojo de alta pureco havas fortan adsorban kapablon por aktivaj gasoj (kiel O2, N2, CO, CO2, akvovaporo super 650 °C), kaj la Ti-filmo vaporiĝanta sur la pumpilmuro povas formi surfacon kun alta adsorba rendimento. .Ĉi tiu posedaĵo faras Ti vaste uzata kiel getter en ultra-alta malplena gasa eltiro sistemo.If uzata por plibonigi la pumpilon, sputtering jonpumpilo, ktp., ĝi povas fari la finfinan operacian premon de sputtering jonpumpilo tiel malalta kiel 10-9PA.
Afiŝtempo: Apr-25-2022